RayScan Nano-纳米级X射线摄影测量系统

RayScan Nano系统非常适合纳米尺寸级别上的新材料的研发特性描述及分析，如集成电路及生物工程的切片，样品等

X射线源

X射线焦点尺寸小至0.15μm

射线光源最高电压可达60kV

技术特点

细节分辨能力可至50nm